項目啟動會現場

　　【香港商報網訊】記者郭代勤報道：10月9日，記者從成都高新區獲悉，由成都太科光電技術有限責任公司承擔的國家重點研發計劃重大科學儀器設備開發項目《超光滑表面無損檢測儀》正式啟動。

　　據了解，《超光滑表面無損檢測儀》是2016年度國家重點研發計劃“重大科學儀器設備開發”專項項目之一，也是四川省首個及唯一一個國家重點研發計劃重大科學儀器項目，分別獲得國家科技部2000萬元、成都高新區200萬元資金支持。該儀器主要用于高精度非接觸測量，可以廣泛的應用于高速集成電路、微電子集成電路、光電集成電路、半導體制造、半導體照明以及太陽能新能源電池等基片TTV、彎曲度、表面質量等關鍵參數的快速檢測，還可應用于大型現代光學工程系統，如大型高功率固體激光系統、極紫外光刻、航空航天空間光學等領域中大口徑元件面形、材料特性等參數測量。

　　“以受檢測器件芯片為例，芯片是由多層構成且呈透明或半透明狀態，受自干涉條紋等條件影響，傳統接觸式測量中其他表面會影響到待測表面的實際檢測，且任何接觸都會對芯片本身造成一定傷害。而超光滑表面無損檢測儀采用非接觸式測量，且采用多表面分離算法，該算法可以分離出待測表面的信息，避免受其它表面的影響。”成都太科光電技術有限責任公司總經理趙智亮說，該項目的實施，可以提高國內面形檢測的能力，實現多表面元件或平行平板的檢測，使其主要技術指標達到或超過國外同類產品水平。項目完成后，將研制數臺超光滑表面無損檢測儀，形成具有自主知識產權的系列化產品和關鍵技術與產業化路線，為未來產業化發展提供工藝路線。預計項目驗收后三年內，完善儀器產品化所有流程，基本形成產品化的標準工藝流程，企業產值達到上億元。

　　據介紹，該項目將通過專項帶動，集成國內優勢力量重點創新，以儀器系統化與集成化結合多表面干涉重疊條紋分離算法為突破口，解決高精度超光滑表面無損檢測的關鍵技術瓶頸，實現高端超光滑表面無損檢測儀器國產化，替代國外同類產品，打破國外公司的技術壟斷和價格壁壘。項目儀器的研制將帶動國內相關產業發展，改變現在采用的接觸式測量方式，大大提高檢測精度和測試效率，對于這些應用行業和領域具有巨大的帶動和促進作用。

　　據悉，成都太科光電技術有限公司是國內專業從事集高精度光學干涉檢測儀器研發、生產和銷售于一體的高新技術企業。2009年公司研制了國內首臺Φ600mm大口徑波長調諧數字干涉儀，技術指標達到國際同類產品水平。獲得了波長調諧相移分析技術、干涉測試技術等多項專利。在此技術基礎上，公司已經形成了兩大系列八個型號的系列化干涉測試儀器產品，占領國內產品市場的80%以上，并遠銷東南亞、俄羅斯等地。