據張江集團官方賬號「你好張江」19日披露,作為國內唯—一家掌握光刻機技術的企業,上海微電子已成功研製出28nm光刻機。此文章還肯定了中芯國際、華虹半導體等在先進模擬芯片代工方面不斷注入的強勁能量。
據鈦媒體20日報道,據悉,上海張江(集團)有限公司(簡稱「張江集團」)於1992年7月28日掛牌設立,是一家統籌承擔張江科學城開發建設、項目引進、產業培育、功能服務、創新創業氛圍營造等重要功能的國有獨資公司,隸屬於上海市浦東新區政府監管單位。
因此,張江集團公布的這一消息,標誌着中國最新28nm前道光刻機研發進展首次被官方披露。
公開信息顯示,上海微電子(SMEE)成立於2002年,是由國內多家產業集團和投資公司共同投資組建的高科技股份有限公司。公司主要致力於半導體裝備、泛半導體裝備、高端智能裝備的開發、設計、製造、銷售及技術服務,設備廣泛應用於集成電路前道、先進封裝、FPD面板、MEMS、LED、Power Devices等製造領域。
2020年的一份公開信息顯示,上海微電子員工人數超過1000人,其中博士和碩士佔比超過40%。公開消息稱,作為對標ASML的公司,上海微電子價值有望接近1000億元人民幣。
公開信息顯示,上海微電子主要生產四種系列光刻機:用於IC(集成電路)前道製造的SSX600系列光刻機;IC後道先進封裝的SSB500系列光刻機;LED、MEMS、功率器件製造的SSB300系列光刻機;TFT曝光的SSB200系列光刻機。