山東產業技術研究院建設硅基微納製造公共技術服務平台，其目的是為了實現高端傳感器的產業化，解決傳感器芯片從設計到量產中間的關鍵工藝難題，助力前沿創新跨越死亡之谷，走向市場，解決我國高端傳感器領域面臨的卡脖子難題。
因此，山東產業技術研究院總投資約2億元，高規格建設了約2000平米的凈化間，配備了近百台用於製造各類高端傳感器芯片工藝設備，覆蓋了芯片生產的各環節，可生產壓力、射頻、陀螺儀、加速度計、量子傳感等各類芯片。
可以說，一項新的傳感芯片設計進入到平台，我們就有能力將他轉換成實實在在的產品，甚至是可以規模化量產的產品。
平台計劃五年內實現年產芯片100萬顆的目標，產出發明專利30項以上，帶動百億相關產業發展，逐步建設成為省內乃至全國的微納製造高地，打通上下游產業鏈，助力山東芯片產業實現跨越式發展。（記者 侯寶之）
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